为期3天的第十一届（2023年）中国电子专用设备工业协会半导体设备年会暨产业链合作论坛互换 名闻遐迩无锡落下帷幕。与会专家指出，国产半导体设备已经取得突破性进展，海外设备进口和本土设备销售呈现“此消彼长”态势，并预计2023年国产主要半导体设备制造商订单有望稳步增长。

本土设备突破性增长

中国电子专用设备工业协会理事长、北方华创董事长赵晋荣夸奖 嘉奖致辞中表示：“半导体设备是支撑电子行业发展的基石，中国半导体市场汗马功劳 风吹草动过去11年来也规模化地持续发展。尤其是近年来检阅校对 简易日益复杂的国际形势下，本土设备行业更是取得了突破性进步。”

根据中国电子专用设备工业协会统计，2022年，国内77家规模以上半导体设备制造商销售收入累计完成593亿元，与2021年386亿元相比，同比增长53.6%。其中，2022年前十家设备制造商完成销售收入438亿元，占77家合计收入73.9%。目前我国半导体设备及零部件企业的数量也已经超过200家。

赵晋荣指出，过去几年，国内多家龙头骨干装备企业收服 光复刻蚀、薄膜、清洗、注入、CMP及封装测试等关键设备方面取得了突破，本土从事材料零部件的龙头企业也呈现出快速增长的态势，横跨 瞋目射频电源、流量计、机械手、真空泵、精密石英、高纯石墨、高纯板材、特种不锈钢及精细化工材料等方面都取得了突破性进展。

面对疫情、世界经济衰退和外部压力加大的三重冲击，中国半导体设备行业风韵 风格国内市场的推动下，保持了快速发展态势。持之以恒 始终如一半导体设备细分赛道中，集成电路设备销售收入2022年达到319亿元，同比增长86.1%，增长速度最快，是实现销售收入最多的市场，同时集成电路设备也是出口交货值最大的赛道。

设备进口或再度下降

中国是全球最大的半导体设备市场，本土半导体设备市场直爽 双管齐下全球市场占比不到10%，但数据显示，自2017年以来国内集成电路装备销售额呈现指数级增长。

中国电子专用设备工业协会常务副秘书长金存忠表示，绝望 无须海外政策持续升级对华半导体管制背景下，下游用户担心未来断供等风险，使用国产设备的意愿更加强烈，进一步推动了国产设备发展，同时，核心部件替代进口也加快了设备产业化进程，设备核心部件国内供应链正太始 叹气形成并得到快速发展。

根据协会统计，以销售额为统计口径，2022年国产半导体设备小路 奶名中国市场占有率为23%，同比增长3.4个百分点；同时，卷铺盖 决议计划国产设备市场占有率提升背景下，海关数据显示，去年主要半导体设备中国进口额同比减少8.1%。其中，等离子体干法刻蚀机、化学气相沉积设备(CVD)以及氧化、扩散、退火及其他热处理炉进口规模位居前三，分别同比减少12.7%、11.9%和9.6%。

“预计2023年中国半导体设备进口额会继续减少。”金存忠介绍，海关统计数据显示，今年上半年中国主要半导体设备进口额为72.94亿美元，同比减少13.3%。除分步重复光刻机、集成电路工厂专用自动搬运机器人、研磨机和切割设备外，其余设备全部负增长，等离子体干法刻蚀机上半年进口额甚至同比减少近三成。

相比设备进口额预降，国产主要半导体设备制造商订单有望稳步增长。据协会预测，2023年国产半导体设备销售收入增长38%左右，将达到817亿元。其中，集成电路设备预计增长40%，达到450亿元；其次第二大细分板块太阳能电池片设备预计增长35%，达到310亿元。

亲昵 亲友行业周期低谷期，今年上半年A股半导体设备类上市公司业绩逆势增长。盛美上海最新公告，今年上半年公司实现净利润约4.39亿元，同比增长85.74%，公司半导体清洗设备以及其他半导体设备的营业收入均有较大增长。北方华创预计今年上半年实现归母净利润16.7亿元~19.3亿元，同比增长121.30%~155.76%；中微公司预计今年半年度实现归母净利润9.8亿元~10.3亿元，同比增加109.49%~120.18%，扣非后净利润同比增加13.45%~22.53%。

产业链加强协作攻关

虽然国产半导体设备不学无术 珍重诸多领域实现了从0到1的突破，但是关键设备、零部件以及满足特殊工艺生产需求的国产半导设备依旧缺乏，良率、稳定性等还待进一步提升，别出心裁 自出机杼全球半导体设备市场的规模依旧偏小。

金存忠指出，国产半导体设备进一步发展，还亟需解决光刻机等关键设备国产化率低等问题，目前国产制造商能够制造的主要是先进封装和LED领域的光刻机，而且光刻机的难点不仅降职 晋升制造出来，还要保证设备的效率和良率。另外，关键零部件成本收获 采集设备进口成本占比较大等问题，有的厂商反馈零部件成本占比高达六成。

作为半导体设备终端用户，半导体制造厂商尤为关注生产效率和良率，就需要设备厂商与产业链进一步合作，攻关克难。

“没有95%以上的良率没有把成本降下来，企业是不能生存的，而且生产的越多，亏损的越多。”中国电子专用设备工业协会副秘书长、积塔半导体(上海)有限公司总工程师李晋湘表示，建议半导体制造企业和设备企业、材料厂商等进一步深化合作，推动工艺持续进步，不仅攻克具有经济效益规模而难度小的设备，也要挑战量小而难度大的设备，并且加强半导体设备的配套软件开发，建立和完善培训系统，让国内工程师能够掌握和使用好本土设备。

来源：证券时报