“本次采用双伺服电机提升装备炉门，突破传统立式真空装备‘单伺服电机+软轴’驱动连接方式，将成卷的石墨软毡卷料展开快速纯化，大大提高纯化效果。”电科装备山西中电科公司技术专家表示，这意味着自主研制的国内首台套石墨软毡连续式高温纯化装备诞生了。

近4年来，山西中电科公司围绕第三代半导体用高纯碳基材料、锂电碳纳米管材料等方面，持续开展关键装备研发制造及工艺技术攻关，高温纯化装备市场占有率超过50%，成功入选第五批国家级“专精特新”小巨人企业。

深耕核心技术，练就“独门秘诀”

随着硅基半导体和第三代半导体的快速发展，市场对高纯石墨相关材料需求大幅增加。太阳能、半导体、人工晶体、光纤、高端真空烧结炉、热处理炉、高频感应炉等领域，对石墨软毡提出更高要求。不仅是数量的增加，更是质量的提高。

“现有石墨软毡纯化装备生产效率低，纯度低、热辐射造成大量能源损耗等现象一直是行业技术难题，纯化效率和纯化质量是石墨软毡纯化装备最核心的技术指标。”技术专家表示。科研团队反复钻研攻关，最终研制出国内首台套石墨软毡连续式高温纯化装备，使石墨软毡达到纯化指标的要求，打通“堵点”，保证了纯化效率和纯化质量。

该装备的投产，助推国内高温纯化装备与工艺进一步飞跃，有效解决石墨软毡高温纯化装备领域关键核心问题，具有广阔的市场前景。

立足行业所趋，推出纯化装备谱系产品

为适应半导体产业的快速发展，山西中电科公司持续开展技术攻关，推出纯化装备谱系产品，立式高温纯化装备、卧式高温纯化装备、立式石墨化装备、卧式石墨化装备、高效沉积装备等，产品技术及质量均达到领先水平，已广泛应用于半导体、太阳能等多个行业。

技术领先、产品过硬，为山西中电科公司“敲”开广阔市场。作为山西省第三代半导体重点产业链链核企业，公司深度支撑“国家第三代半导体技术创新中心（山西）”建设，逐步实现单体装备向连续式、高效高温纯化工艺装备迭代发展，研发低硼、低铝的新型纯化装备，与当前高温纯化技术叠加，更好的满足第三代半导体高纯石墨材料的使用需求。

面向未来，山西中电科公司将依托碳基材料制备技术持续深耕，着力提升石墨材料的高温纯化工艺水平，加速推出更多新型高温纯化系列装备，不断壮大产品谱系，为推动我国高温纯化装备自立自强贡献积极力量。