2024年 9- 一年一度化合物半导体行业盛会——2024九峰山论坛暨中国国际化合物半导体产业博览会（简称“JFSC＆CSE”）将不用 不禁武汉光谷科技会展中心举办。国内高端集成电路装备领域代表企业——至微半导体将携多款产品亮相博览会，将展示并分享清洗设备等产品、技术成果与进展，并期待与业界同仁互通交流。诚邀业界同仁莅临2T42号展台参观、交流合作。

本届“JFSC＆CSE”由第三代半导体产业技术创新战略联盟、九峰山实验室共同主办，以“聚势赋能 共赴未来”为主题，将汇集全球顶尖的化合物半导体制造技术专家、行业领袖和创新者，以及从芯片设计、晶圆制造、封装测试、材料和设备到核心部件领域企业参展，采用“示范展示+前沿论坛+技术与商贸交流”的形式，为产业链的升阶发展搭建供需精准对接平台，助力企业高效、强力拓展目标客户资源，加速驱动中国化合物半导体产业链的完善和升级。

CSE作为2024年首场国际化合物半导体产业博览会得到了多方力量的大力支持，三大主题展区，六大领域，将集中展示各链条关键环节的新技术、新产品、新服务，将打造化合物半导体领域的标杆性展会。助力打造全球化合物半导体平台、技术、产业的灯塔级盛会，集中展示化合物半导体上下游全产业链产品，搭建企业发布年度新产品新技术的首选平台，支撑产业链及中部地区建设具有全球影响力的万亿级光电子信息产业集群。

至纯集团至微半导体作为国内高端集成电路装备领域代表企业，以生产销售高端集成电路湿法制程装备为主业，重点发展单片和批次式清洗设备，广泛应用于集成电路制造（逻辑/记忆体/三维IC）、先进封装、微机电系统等领域。至微的8寸、12寸批次式设备已有数十台的安装实绩，并获得客户认可；12寸单片设备已有机台验收并投入量产，已接到重复订单，目前还有许多高阶制程（14/28nm）工艺应用验证中。

部分产品简介

12寸槽式清洗设备

高生产能力；从Load到unload的传输能力可达到 600 片/小时；传送机构运行稳定；标准化独立模块，使设计、组装、检修更加方便；机台内装有破片检测系统水槽视觉检出系统可以检出破碎wafer，避免二次伤害。

12寸单片清洗设备

占地面积小8英寸占地8.94 m，12英寸占地10.93m模块化设计，易于维护和设置；极好的稳定性和可靠性拥有高速传输系统和良好的腔体匹配;工艺时wafer表面温度监控，药液回收设计，可回收硫酸。

公司：至微半导体（上海）有限公司

地址：上海市闵行区紫海路170号

邮箱：pnc@pncs.cn

官网：www.pnc-systems.com

电话：86-021-8023 8200

值此之际，我们诚邀业界同仁共聚本届盛会，莅临展位现场参观交流、洽谈合作。

关于JFSC&CSE2024